据国外媒体报道,半导体行业光刻系统供应商ASML(阿斯麦)去年交付了26台极紫外光刻机(EUV),调查公司Omdia表示,其中约一半面向大客户台积电。
ASML此前公布,2019年,共向客户交付了26台极紫外光刻机。其中,在第四季度交付了8台。
ASML还透露,去年交付的26台极紫外光刻机中,有9台是最新型号,即NXE:3400C。
英国调查公司Omdia推测称,ASML去年交付的26台极紫外光刻机,大约一半面向台积电。
台积电2019年正式启动7nm产品的量产,这只能通过波长极短的EUV进行操作。资料显示,EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍,因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。
在晶圆代工领域,台积电掌握了全球约一半份额。
另外,三星电子、英特尔等也采购了ASML的极紫外光刻机设备。
ASML服务的客户为全球主要的半导体制造商,打造在电力电子、通信和信息技术产品中广泛应用的芯片。
ASML公司总部位于荷兰的Veldhoven市。生产基地和研发设施则位于康涅狄格州、加州、中国台湾和荷兰。科技发展中心及训练设施位于日本、韩国、荷兰、中国台湾和美国。
ASML在阿姆斯特丹泛欧证券交易所和纳斯达克上市。周三收盘,ASML(NASDAQ:ASML)股价上涨2.2%至278.58美元,总市值约1169.51亿美元。
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