中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试 8英寸晶圆良品率达99%

国内最大的晶圆代工厂中芯国际日前又一个重要项目开始量产。据浙江日报报道称，位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。8 英寸晶圆月产能增至 7 万片，良品率达 99%。

目前半导体领域应用范围最广的是 8 英寸、12 英寸晶圆。中芯绍兴量产成功的 8 英寸晶圆，可用于智能汽车、智能家居家电的芯片制造。

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立。2018 年 5 月 18 日，中芯绍兴 8 英寸厂房项目举行奠基仪式，标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。2020 年 1 月中芯集成电路制造(绍兴)有限公司 8 英寸项目正式量产，产能爬坡迅速。

中芯绍兴布局三大工艺平台：一是 MEMS 平台，包括 MEMS 麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪;二是 MOSFET 工艺平台，包括沟槽式 MOSFET、分栅式 MOSFET 以及超结 MOSFET;三是立足场截止型(Field Stop)IGBT 结构。

IT之家了解到，2020 年是绍兴集成电路产业平台开启全面建设的关键之年。一年多来，平台聚焦集成电路设计 — 制造 — 封装 — 测试 — 设备及应用全产业链，多措并举为打造以集成电路为核心的高能级现代产业体系厚植根基。2020 年，集成电路产业总产值突破 300 亿元，成为绍兴城市综合经济实力提升到全国第 29 位的重要动力。